半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理
文章出處:污水處理知識 責(zé)任編輯:漓源環(huán)保 閱讀量:- 發(fā)表時間:2020-10-16
標(biāo)簽:半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理
在半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程中,不可避免的會產(chǎn)生各種污染物的廢水,以含氟離子,含銅離子,含磷廢水的危害為嚴(yán)重。
半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程在以上三種污染廢水的處理現(xiàn)狀,涉及到的具體工藝流程及生產(chǎn)條件進(jìn)行分析。介紹離子交換樹脂法在各半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的應(yīng)用,未來在處理含磷和含氟半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的展望。
半導(dǎo)體行業(yè)廢水處理現(xiàn)狀
含氟離子半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理
在半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工程中,化學(xué)沉淀和混凝沉降法的組合工藝是為經(jīng)濟(jì)型處理方法,形成氟化鈣絮凝沉淀法,化學(xué)沉淀法進(jìn)行含氟廢水的處理原理:
調(diào)整p H為6-7左右,加入的過量的Ca Cl2和適量的絮凝劑,形成的沉淀Ca F2成為礬花,部分污泥循環(huán)成為載體,促進(jìn)絮凝效果,在沉淀池通過重力沉降實現(xiàn)泥水分離,一級反應(yīng)能夠去除80%的氟,二級絮凝添加PAC進(jìn)一步處理氟,氟化鈣及其其他形態(tài)沉淀,利用污泥泵輸送到污泥沉淀池,用板框式脫水機(jī)壓成泥餅外運(yùn),產(chǎn)生的壓濾液進(jìn)入其他的系統(tǒng)進(jìn)一步處理。此工藝流程比較簡單,費(fèi)用也比較低,處理水中含有5-10ppm的氟離子,和Ca F2本身的溶解度有關(guān)系,但對于半導(dǎo)體行業(yè)的含氟廢水處理還是具有很大的適用性。
含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理現(xiàn)狀
半導(dǎo)體行業(yè)的含磷廢水中磷主要以PO43-為主,可以通過調(diào)整p H,加入Ca Cl2生成Ca5(PO4)3OH沉淀,難溶于水。采用的方法為化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法的組合工藝,形成羥基磷酸鈣,由上述可知,化學(xué)沉淀法進(jìn)行含磷廢水的處理原理:
含磷廢水p H一般在2左右,一級反應(yīng)池的p H調(diào)整到5-6左右,二級反應(yīng)池p H調(diào)整到8.5-9,三級反應(yīng)池p H調(diào)整到9-9.5(確保完全生成羥基磷酸鈣),加入的過量的Ca Cl2和適量的絮凝劑,形成的Ca5(PO4)3OH沉淀,部分污泥循環(huán)成為載體,促進(jìn)絮凝效果,在沉淀池通過重力沉降實現(xiàn)泥水分離。此工藝流程比較簡單,費(fèi)用也比較低,但是要求系統(tǒng)調(diào)整及時,處理水含磷波動比較大,影響處理水的排放,對于半導(dǎo)體行業(yè)的含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理還是具有很大的適用性。
半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的含氟,含磷半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水的處理主要采用化學(xué)沉淀法和混凝劑沉降法的組合工藝,形成沉淀物實現(xiàn)泥水分離。簡單的工藝流程,低費(fèi)用,適用于現(xiàn)階段的半導(dǎo)體產(chǎn)生廢水處理,但是考慮到資源的浪費(fèi)和對環(huán)境的污染,此工藝不能從根本上解決廢水問題。離子交換樹脂法技術(shù)逐漸趨于成熟,未來半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理領(lǐng)域?qū)⑻娲鷤鹘y(tǒng)的化學(xué)混凝等工藝,因此,研制對各廢水具有交換容量大、高選擇性、再生性能好、價格便宜以及吸附解吸過程可逆性好的離子交換樹脂,也是今后半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理工作者的研究方向。
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