在半導(dǎo)體業(yè)界,通常使用異丙醇來(lái)清潔硅晶圓,以去除硅晶圓上的雜質(zhì)及污染物,含異丙醇的廢水便因此產(chǎn)生。在所屬技術(shù)領(lǐng)域中,依異丙醇的含量高低,可將廢水區(qū)分為高異丙醇含量廢水(約10wt%至20wt%)以及低異丙醇含量廢水(約100ppm至2000ppm),并針對(duì)不同濃度的異丙醇廢水,發(fā)展出不同的異丙醇廢水處理系統(tǒng)。
異丙醇廢水處理系統(tǒng)其是搭配一氣/液質(zhì)傳單元(例如:吹脫塔或蒸餾塔)的觸媒氧化系統(tǒng)。將含異丙醇的廢水輸送至氣/液質(zhì)傳單元后,通過(guò)吹脫或蒸發(fā)的方式將異丙醇提取至氣相,再通過(guò)氣體收集管路,將氣相異丙醇引導(dǎo)至觸媒氧化系統(tǒng),進(jìn)一步將異丙醇?xì)怏w分解成二氧化碳及水蒸氣,以達(dá)到去除異丙醇的效果。
然而,在此異丙醇廢水處理系統(tǒng)中,于提取氣相異丙醇的步驟中,需使用大量的氣體(約為廢水體積流量200倍至1000倍的空氣),并需提供高溫(大于250℃)的環(huán)境,以達(dá)到分離異丙醇的效果。因此,此異丙醇廢水處理系統(tǒng)存在能源消耗大的缺點(diǎn)。
另外,在處理過(guò)程中,氣相中異丙醇的含量高于異丙醇的爆炸下限濃度(lower explosive limit,lel),而具有爆炸的風(fēng)險(xiǎn)。具體來(lái)說(shuō),異丙醇的爆炸下限濃度為2vol%,一般安全的操作條件為1/4的爆炸下限濃度。
異丙醇廢水處理系統(tǒng)其是將含異丙醇的廢水通入一微生物處理設(shè)備中,利用設(shè)備中的好氧微生物分解異丙醇。為了維持微生物的生存,在處理廢水的過(guò)程中,需持續(xù)通入大量空氣(或氧氣)。
在分解異丙醇之后,處理后的廢水會(huì)伴隨大量的活性污泥一起產(chǎn)生,因此,此異丙醇廢水處理系統(tǒng)的下游需設(shè)置有一固液分離單元(例如:重力沉淀槽)以及一污泥回流輸送設(shè)備,以避免流失具有分解能力的活性污泥。
為了確保異丙醇廢水處理系統(tǒng)的分解能力,需有計(jì)劃的管控微生物的濃度,并適時(shí)淘汰老化的活性污泥,并將老化的活性污泥交由廢棄污泥廠商處理。
總結(jié)來(lái)說(shuō),上述異丙醇廢水處理系統(tǒng)涉及微生物的分解,而存在許多不可控性,且整體廢水的處理時(shí)間長(zhǎng)、設(shè)備占地空間大,還衍生出處理老化污泥的問(wèn)題。因此,如何通過(guò)系統(tǒng)的改良,改善處理異丙醇廢水時(shí)產(chǎn)生的不便性,來(lái)克服上述的缺陷,已成為該項(xiàng)事業(yè)所欲解決的重要課題之一。
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