硅晶片被廣泛應(yīng)用于集成電路中，在硅晶片蝕刻工藝中產(chǎn)生的廢水帶來(lái)的污染嚴(yán)重，建立一套完善的硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng)不僅可以減少污染，也能節(jié)約資源。下面漓源環(huán)保為您介紹一種應(yīng)用在此類工業(yè)廢水處理中的系統(tǒng)。

這種硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng)中包含與工作槽相連通以接收工作槽中的硅晶片蝕刻廢水從而分離出固體Si和殘余廢液的固液分離裝置；用于接收殘余廢液的酸再生與硅再生系統(tǒng)，其中酸再生與硅再生系統(tǒng)與固液分離裝置相連通；與酸再生與硅再生系統(tǒng)相連通以接收酸再生與硅再生系統(tǒng)導(dǎo)出的含固體Si、氣體HF及多余H2SiF6溶液的混合物的減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置還與固液分離裝置相連通；及與減壓蒸餾裝置以及工作槽相連通的酸性吸收塔。

在硅晶片蝕刻廢水處理中由固液分離裝置分離出固體Si，并得到殘余廢液；由酸再生與硅再生系統(tǒng)中的電解反應(yīng)槽使殘余廢液中的H2SiF6溶液發(fā)生電解反應(yīng)，以得到固體Si、氣體HF，將氣體HF和一部分氣體NO2收集于水中，以形成HF溶液和HNO3溶液組成的混合酸蝕刻溶液。電解得到的固體Si導(dǎo)入到固液分離裝置中進(jìn)行分離并回收再利用。

在硅晶片蝕刻廢水處理系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)資源的回收利用，也減少了污染，同時(shí)具有經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)保效益。如果您對(duì)硅晶片蝕刻廢水處理還有什么疑問(wèn)，歡迎咨詢漓源環(huán)保工程師。

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