工程概況

某公司是生產(chǎn)多晶體硅半導(dǎo)體材料的專業(yè)公司。該公司多晶硅生產(chǎn)裝置所產(chǎn)生的酸性廢水、硅棒高純水洗產(chǎn)生的廢水、含硅廢水、浸蝕酸廢液等需要處理才能排放，處理后的廢水可以回用于噴淋塔、冷卻塔清洗等。

設(shè)計(jì)進(jìn)水水量水質(zhì)

  設(shè)計(jì)處理規(guī)模為：360m³/d。

  根據(jù)業(yè)主提供污水水質(zhì)，數(shù)據(jù)如下（單位為mg/l）：

表1 廢水水質(zhì)水量一覽表

污水處理排放標(biāo)準(zhǔn)

  根據(jù)業(yè)主要求規(guī)劃，廢水經(jīng)處理后出水的排放標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行廣東省地方標(biāo)準(zhǔn)《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時(shí)段一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和《城市污水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)與再生水利用》（GB/T19923-05）之較嚴(yán)者，具體相關(guān)指標(biāo)如下表2所示（單位為mg/l）：

表2 出水指標(biāo)排放標(biāo)準(zhǔn)（單位mg/l，除pH外）

  廢水處理系統(tǒng)（MCR）出水可以達(dá)標(biāo)或回用作為雜用水，也可經(jīng)過回用水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理，回用水系統(tǒng)出水水質(zhì)可優(yōu)于自來水水質(zhì)要求，滿足超純水系統(tǒng)進(jìn)水水質(zhì)。

工藝設(shè)計(jì)分析

   廢水經(jīng)過一級(jí)物化處理后，達(dá)到表三標(biāo)準(zhǔn)排放的廢水，主要成份含量：Cu≤5ppm、硅粉等微量固形物、懸浮物；需要進(jìn)行膜處理才能達(dá)到回用水質(zhì)指標(biāo)。

污水處理工藝流程圖

工藝說明

  ①介質(zhì)濾器、活性炭濾器和其它制程產(chǎn)生的水進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)調(diào)節(jié)池，與工業(yè)廢水綜合后進(jìn)行物化沉淀處理。

  ②工業(yè)廢水經(jīng)過“調(diào)節(jié)池+絮凝反應(yīng)池+斜管沉淀池+MCR膜化學(xué)反應(yīng)器”處理，去除殘留的微量固形物、懸浮物。經(jīng)MCR產(chǎn)水泵到收集水箱。水量：18m³/h（360m³/D）。

  ③產(chǎn)水經(jīng)過UV防止胞外聚合物對(duì)后續(xù)處理的污染。經(jīng)炭濾處理去除小分子有機(jī)物后，進(jìn)入RO系統(tǒng)進(jìn)行一次預(yù)脫鹽：

  ④純水制備產(chǎn)生的RO濃水，水質(zhì)濁度低，含鹽量相對(duì)較高。進(jìn)入濃水收集水箱，與工業(yè)廢水RO系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水進(jìn)行混合。進(jìn)行EDI（膜分鹽系統(tǒng)）處理后，產(chǎn)生的淡液經(jīng)過 PH調(diào)整后，進(jìn)行膜回收處理后回用。

  ⑤EDI濃水收集后，作為介質(zhì)濾器的反洗水；中央空調(diào)冷卻循環(huán)補(bǔ)水，多余水作為雜用水，或溢流到應(yīng)急水池廢水處理。

預(yù)計(jì)處理效率

表3 廢水膜處理和濃水回收減量數(shù)據(jù)表